Рентгеновская дифракция, при которой падающий и дифрагированный лучи практически параллельны поверхности образца, так называемая дифракция in-plane является важной методикой в изучении тонких пленок. В рамках стандартных методик, например, с использованием схемы Брэгга-Брентано, определяются расстояния между плоскостями, параллельными поверхности образца. Рентгеновское излучение проникает в образец на определенную глубину, где и происходит дифракция. Однако, когда слой образца очень тонок, рентгеновские лучи проходят через образец и дифракция не происходит. В таких случаях используется дифракция in-plane. Она обладает двумя ключевыми преимуществами:
1. Глубина проникновения рентгеновских лучей в образец составляет около 100 нм от его поверхности.
2. С помощью такой методики можно определять расстояния между плоскостями, практически перпендикулярными поверхности образца. В рамках других методов этого делать невозможно.
© 1959—2023 TOKYO BOEKI.
All Rights Reserved.